6" , 8" Open Cassette標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型
模組化機(jī)架,可依照客戶需求調(diào)整配置方式
符合國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備SEMI S2安全規(guī)范
符合RoHS規(guī)范,潔凈度可達(dá)Class 1
多種感測(cè)器偵測(cè)各項(xiàng)元件,即時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備狀態(tài)
GUI介面軟體,可遠(yuǎn)端操作指令,整合各裝置子系統(tǒng),提供單一指令格式窗口