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HIWIN EFEM320-D01 晶圓移載系統(tǒng)

特征

  • 8”SMIF標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型

  • 外置電控箱設(shè)計，機(jī)架內(nèi)部空間最大化

  • 通過國際半導(dǎo)體設(shè)備SEMI S2安全認(rèn)證

  • 符合RoHS規(guī)范，潔凈度可達(dá)Class 1

  • 多種感測器偵測各項(xiàng)元件，即時監(jiān)測設(shè)備狀態(tài)

  • 條碼、標(biāo)簽及字元辨識，完整追蹤生產(chǎn)過程