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HIWIN EFEM320-D02 晶圓移載系統(tǒng)

特征

  • 8" , 12" 標準機型

  • 盤面式電控箱設計

  • 通過國際半導體設備SEMI S2安全認證

  • 符合RoHS規(guī)范，潔凈度可達Class 1

  • 多種感測器偵測各項元件，即時監(jiān)測設備狀態(tài)

  • 即時影像監(jiān)控，條碼、標簽字元辨識，完整追蹤生產過程

  • 提供客制化晶圓或其他基板搬運需求