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HIWIN EFEM320-D03 晶圓移載系統(tǒng)

特征

  • 8" , 12" 標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型

  • 隱藏式電控箱、尋邊器設(shè)計(jì)，銜接窗口最大化

  • 通過(guò)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備SEMI S2安全認(rèn)證

  • 符合RoHS規(guī)范，潔凈度可達(dá) Class 1

  • 多種傳感器偵測(cè)各項(xiàng)組件，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備狀態(tài)

  • 提供客制化晶圓或其他基板搬運(yùn)需求

  • 自動(dòng)壓力控制系統(tǒng)，透過(guò)環(huán)境壓力變化，調(diào)節(jié)風(fēng)扇轉(zhuǎn)速保持設(shè)定值