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HIWIN EFEM320-D06 晶圓移載系統(tǒng)

特征

  • 12" Wafer , 12" Metal Carrier 標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型

  • 上方盤面式電控箱設(shè)計

  • 通過國際半導(dǎo)體設(shè)備SEMI S2安全認(rèn)證

  • 符合RoHS規(guī)范，潔凈度可達(dá)Class 1

  • 多種感測器偵測各項元件，即時監(jiān)測設(shè)備狀態(tài)

  • 即時影像監(jiān)控，條碼、標(biāo)簽字元辨識，完整追蹤生產(chǎn)過程

  • 提供客制化晶圓或其他基板搬運需求