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HIWIN EFEM340-D08 晶圓移載系統(tǒng)

特征

  • 高速長行程12”標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型

  • 光柵設(shè)計(jì)提升安全性

  • 符合國際半導(dǎo)體設(shè)備SEMI S2安全規(guī)范

  • 符合RoHS規(guī)范，潔凈度可達(dá)Class 1

  • 多種感測器偵測各項(xiàng)元件，即時(shí)監(jiān)測設(shè)備狀態(tài)

  • GUI介面軟體，可遠(yuǎn)端操作指令，整合各裝置子系統(tǒng)，提供單一指令格式窗口