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RWS 單臂晶圓機器人

特征

軟硬件垂直整合優(yōu)勢，并且采用高精密，高剛性直驅(qū)電機，重復精度達±0.1mm，回轉(zhuǎn)半徑小，空間使用率高。

應用

適用于半導體產(chǎn)業(yè)(晶圓取放)、光電產(chǎn)業(yè)(小型面板、小型太陽能板)、LED產(chǎn)業(yè)(藍寶石基板、膠環(huán))等取放設備。